原子層沉積系統(tǒng)招標公告

哈爾濱工業(yè)大學(xué)原子層沉積系統(tǒng)招標公告
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　　哈爾濱工業(yè)大學(xué)招標采購辦公室受用戶的委托，擬就原子層沉積系統(tǒng)項目進行公開招標。歡迎具有此項供貨能力、資信良好的供應(yīng)商前來投標。

　　一、項目名稱：原子層沉積系統(tǒng)

　　二、招標編號：HITZB-543

　　三、采購數(shù)量：1套

　　四、主要技術(shù)指標：

　　1. 產(chǎn)品配置要求

　　1.1 原子層沉積系統(tǒng)1套，包括額外的源管路、操作軟件等

　　1.2 技術(shù)要求：

　　(1) 熱態(tài)原子層沉積設(shè)備

　　(2) 適應(yīng)于標準的實驗室環(huán)境條件，對實驗室環(huán)境條件，如環(huán)境溫度、濕度等，無特殊要求和限制，同時兼容100級超凈室。

　　(3) 最大可以生長直徑為8英寸（200mm）的樣品基底。

　　(4) 系統(tǒng)相關(guān)操作由計算機控制，可以編輯、保存沉積配方文件。

　　(5) 為客戶提供多種氧化物氮化物金屬標準沉積工藝：

　　(6) 源料瓶在培訓(xùn)后客戶能獨立方便更換，以便將來科研要求更換別種材料。

　　(7) 腔體技術(shù)要求：

　　(a)基底最高加熱溫度450℃，控制誤差在±1℃以內(nèi)。

　　(b)適用于在最大為200mm直徑的平面基底、三維結(jié)構(gòu)的基底（高度小于6mm）和多孔材料基底上的薄膜制備要求。

　　(c)具有沉積高寬深比（>1:1000）功能的暴露沉積模式。

　　(d)包含有用于反應(yīng)腔壓力監(jiān)控的壓力傳感器。

　　(8) 各種源管路部分技術(shù)要求：

　　(a) 包含一路常溫源和3路加熱源

　　(b) 除一路常溫源外其他的源溫度必須在室溫到200攝氏度可控，控制誤差在±1℃以內(nèi)。

　　(c) 所有源瓶采用VCR標準接頭連接，可以由經(jīng)過培訓(xùn)的用戶自行更換。

　　(d) 所有前驅(qū)體管路必須加熱，在室溫到200攝氏度可控，控制誤差在±1℃以內(nèi)。

　　(9) 系統(tǒng)應(yīng)包括一個國外生產(chǎn)真空泵。

　　(10) 設(shè)備的電氣控制系統(tǒng)應(yīng)安全可靠，符合CE/CSA/FCC/EMC等標準。

　　(11) 薄膜厚度的均勻性：以Al2O3為例，在4英寸晶圓上沉積大約100nm，取5個不同點（上、下、左、右、中心）進行測試，其厚度標準偏差：≤1%。

　　2. 設(shè)備產(chǎn)地及供貨期

　　2.1 設(shè)備及附件均為進口設(shè)備

　　2.2 供貨期1個月

　　3. 售后服務(wù)

　　3.1 設(shè)備安裝調(diào)試
儀器到達用戶所在地后，在接到用戶通知后2周內(nèi)執(zhí)行安裝調(diào)試直至達到驗收指標。

　　3.2 技術(shù)培訓(xùn)
在用戶現(xiàn)場進行必要的培訓(xùn)。培訓(xùn)內(nèi)容包括儀器的技術(shù)原理、操作、數(shù)據(jù)處理、基本維護等。

　　3.3 保修期

　　提供1年以上的免費保修，保修期自驗收簽字之日起計算。

　　3.4 維修響應(yīng)時間
應(yīng)在24小時內(nèi)對用戶的服務(wù)要求做出響應(yīng)，一般問題應(yīng)在三個工作日內(nèi)解決，重大問題或其他無法迅速解決的問題應(yīng)在一周內(nèi)解決或提出明確解決方案。

　　五、投標商準入資格

　?。?）具有在境內(nèi)的獨立法人資格以及相關(guān)資質(zhì)證明文件。

　?。?）具備中國政府采購法第二十二條的條件。

　　 （3）本次招標公告截止日期為2011年2月1日中午12點整,有意參與投標的供應(yīng)商請將投標申請表及營業(yè)執(zhí)照快遞（傳真）予我們，以便于有效安排開標事宜。|中國采招網(wǎng)（ bidcenter.com.cn）

　?。?）如果報名情況符合開標條件，標書將在報名截止后以電子郵件的形式發(fā)送到您的郵箱，敬請自行查詢郵箱并仔細閱讀標書，哈工大招標辦不再另行通知，如有疑問可致電或到訪招標辦，請在規(guī)定時間交納標書款、投標保證金（標書款收取后一概不退）獲取投標資格。

　　（5）如果提供進口產(chǎn)品，投標商須提供與國外廠家的所屬關(guān)系證明文件；如果提供的是國內(nèi)產(chǎn)品供應(yīng)商的注冊資金必須超過所投貨物的總價，并提供原生產(chǎn)商授權(quán)。

　　 （6）請于開標前一天止4日內(nèi)（節(jié)假日順延）每天早8：00-8：30到指定地點購買標書，未按照要求購買標書的供應(yīng)商不能取得投標資格。

　　六、報名辦法

　　招標人：哈爾濱工業(yè)大學(xué)

　　招標人地址：哈爾濱市南崗區(qū)西大直街92號

　　 哈爾濱工業(yè)大學(xué)行政辦公樓207室招標采購辦公室

　　招標聯(lián)系人：張立 聯(lián)系電話（自動傳真）：0451－********查看詳情

　　技術(shù)聯(lián)系人：徐成彥 聯(lián)系方式：132*****823 ****-********查看詳情

　　郵政編碼：150001

　　 哈爾濱工業(yè)大學(xué)招標采購辦公室